當(dāng)前位置：首頁(yè) > 技術(shù)文章
作為先進(jìn)的納米壓印設(shè)備，EVG7300紫外光納米壓印機(jī)憑借其300毫米晶圓處理能力、300納米級(jí)對(duì)準(zhǔn)精度及模塊化設(shè)計(jì)，成為半導(dǎo)體、光學(xué)元件及生物醫(yī)療領(lǐng)域的關(guān)鍵制造工具。本文從設(shè)備結(jié)構(gòu)、操作流程、關(guān)鍵參數(shù)調(diào)控及維護(hù)要點(diǎn)四方面，解析其高效使用的...
在半導(dǎo)體制造與微電子加工領(lǐng)域，光刻膠作為圖形轉(zhuǎn)移的核心材料，其性能直接決定了芯片的分辨率、良率與制造成本。光刻膠測(cè)量技術(shù)通過(guò)精準(zhǔn)評(píng)估其厚度、粘附性、對(duì)比度等關(guān)鍵參數(shù)，成為工藝優(yōu)化與質(zhì)量控制的核心環(huán)節(jié)。本文將從測(cè)量精度、穩(wěn)定性與可靠性三大維度深入剖析光刻膠測(cè)量性能，并結(jié)合實(shí)際案例揭示其在行業(yè)中的戰(zhàn)略價(jià)值。一、測(cè)量性能的核心維度1.精度：納米級(jí)分辨率的基石光刻膠厚度測(cè)量需達(dá)到亞納米級(jí)精度。例如，在7nm制程中，光刻膠厚度波動(dòng)超過(guò)1nm即可能導(dǎo)致線寬偏差，進(jìn)而影響芯片性能。采用FR...
勻膠機(jī)通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)基底產(chǎn)生的離心力，實(shí)現(xiàn)了膠體溶液在微納結(jié)構(gòu)表面的均勻涂覆，在微陣列電極制備與生物分子功能化中展現(xiàn)出價(jià)值。在微陣列電極領(lǐng)域，勻膠機(jī)可精確控制導(dǎo)電聚合物、水凝膠等材料的成膜厚度與均勻性。例如，在制備微陣列化水凝膠電極時(shí)，勻膠機(jī)將水凝膠前驅(qū)液均勻鋪展在微陣列硅片基底上，結(jié)合真空干燥與退火處理，可顯著降低水凝膠與基底間的結(jié)合力，從而獲得規(guī)則、完整的微米級(jí)四棱柱狀或金字塔狀導(dǎo)電水凝膠陣列。這種結(jié)構(gòu)可提升電極的電化學(xué)活性表面積，增強(qiáng)HER（析氫反應(yīng)）與OER（析氧反應(yīng)）...
位移傳感器作為工業(yè)自動(dòng)化與精密制造的核心組件，其非接觸式高分辨率近距離測(cè)量技術(shù)正推動(dòng)制造業(yè)向智能化、高精度方向演進(jìn)?；陔娙荨⒓す?、電磁等原理的非接觸式傳感器，通過(guò)消除機(jī)械磨損與環(huán)境干擾，實(shí)現(xiàn)了亞微米級(jí)位移測(cè)量，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工、航空航天與醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域。一、技術(shù)原理與核心優(yōu)勢(shì)1.電容式位移傳感器：納米級(jí)分辨率的范例采用平行板電容器結(jié)構(gòu)，當(dāng)被測(cè)物體（金屬或?qū)щ婓w）靠近時(shí)，電容值隨距離線性變化。例如MicroSense8800系列傳感器，通過(guò)優(yōu)化電極幾何結(jié)構(gòu)與信號(hào)處理算法，在...
硅片作為半導(dǎo)體、光伏及微電子等領(lǐng)域的核心材料，其厚度精度直接影響產(chǎn)品質(zhì)量與性能。不同應(yīng)用場(chǎng)景對(duì)厚度測(cè)量提出多樣化需求，催生出一系列精準(zhǔn)高效的測(cè)量技術(shù)。本文結(jié)合技術(shù)原理與實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景，系統(tǒng)闡述多種硅片厚度測(cè)量方法。一、接觸式測(cè)量：機(jī)械與壓電技術(shù)的結(jié)合1.機(jī)械測(cè)微計(jì)法通過(guò)螺旋測(cè)微器或千分尺對(duì)硅片進(jìn)行接觸式測(cè)量，操作簡(jiǎn)單直觀。然而受限于測(cè)量點(diǎn)數(shù)量，僅適用于抽檢，且可能因壓力導(dǎo)致表面微損傷，適用于低精度要求的場(chǎng)合。2.電感測(cè)微儀利用電感線圈對(duì)距離變化的敏感性，通過(guò)接觸式測(cè)頭檢測(cè)厚度變...
在半導(dǎo)體制造、光伏產(chǎn)業(yè)等精密制造領(lǐng)域，硅片厚度是影響芯片性能、太陽(yáng)能電池效率的核心參數(shù)之一。硅片厚度測(cè)量?jī)x作為一種高精度檢測(cè)工具，其正確的操作方法直接關(guān)系到測(cè)量數(shù)據(jù)的可靠性。本文從基礎(chǔ)到進(jìn)階，系統(tǒng)解析測(cè)量?jī)x的操作要點(diǎn)，助力工程師快速掌握這一關(guān)鍵技術(shù)。一、測(cè)量前的準(zhǔn)備工作1.清潔與環(huán)境控制①使用無(wú)塵布和酒精擦拭硅片表面，避免指紋、油漬等污染影響測(cè)量精度。②確保實(shí)驗(yàn)室溫度穩(wěn)定在（23±2）℃、濕度≤60%，防止熱脹冷縮導(dǎo)致誤差。2.設(shè)備預(yù)熱與校準(zhǔn)①開(kāi)機(jī)后等待10-1...