三維形貌儀是一種用于測(cè)量三維表面形貌、輪廓和曲面特征的儀器。它可以通過(guò)激光或白光掃描技術(shù)獲取被測(cè)物體表面的三維形貌信息，并生成三維模型或曲面圖。三維形貌儀在工業(yè)制造、質(zhì)量控制、產(chǎn)品設(shè)計(jì)、醫(yī)療等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用，能夠提供高精度的表面形貌數(shù)據(jù)，幫助用戶(hù)進(jìn)行產(chǎn)品設(shè)計(jì)、檢測(cè)和分析。常見(jiàn)的三維形貌儀包括激光三維掃描儀、白光干涉儀等。
三維形貌儀通過(guò)集成一對(duì)單點(diǎn)，非接觸式，納米分辨率的彩色共聚焦傳感器與高速，納米編碼的X/Y/Z協(xié)調(diào)運(yùn)動(dòng)，QuickPRO-CUBE™捕獲同步的前，后和基準(zhǔn)表面3D點(diǎn)云地形，用于托盤(pán)中的單鏡頭或微鏡頭的幾何表征。形式不變運(yùn)動(dòng)架構(gòu)允許測(cè)量旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)和更復(fù)雜的非軸對(duì)稱(chēng)或自由形狀，最大測(cè)量直徑為50mm(高達(dá)75mm外徑)。根據(jù)鏡頭直徑和3D點(diǎn)云采樣密度的不同，每個(gè)鏡頭每個(gè)表面的總測(cè)量時(shí)間從30秒到240秒不等。
測(cè)量的幾何參數(shù)包括：
· 相對(duì)于定義的集中度基準(zhǔn)的前后曲面頂點(diǎn)偏移量
· 相對(duì)于定義的傾斜基準(zhǔn)的前后表面楔角
· 前后總厚度變化（TTV）和中心厚度（CT）
· 前后表面凹陷/形狀誤差
三維形貌儀系統(tǒng)特性：
· 緊湊，臺(tái)式機(jī)組與環(huán)境外殼
· 雙單點(diǎn)、非接觸、可見(jiàn)光、彩色共聚焦傳感器，8kHz組合測(cè)量速率
· 震動(dòng)不敏感和尺寸穩(wěn)定的Invar計(jì)量框架
· 納米編碼X/Y/Z協(xié)調(diào)運(yùn)動(dòng)與磁性直線(xiàn)電機(jī)和交叉滾子軸承快速光柵或螺旋掃描超過(guò)50mm (X)， 50mm (Y)， 50mm (Z)
· 自定義心夾具，精密快速連接，快速裝卸
· 用于單光學(xué)元件（最大外徑75mm）和微透鏡托盤(pán)的固定裝置
· 用戶(hù)友好的QuickPRO™儀器控制和數(shù)據(jù)采集軟件，用于傳感器優(yōu)化，自動(dòng)定心，數(shù)據(jù)捕獲和協(xié)調(diào)運(yùn)動(dòng)測(cè)序
· CalcuSurf-3D™查看和分析軟件，用于多表面3D點(diǎn)云數(shù)據(jù)
產(chǎn)品型號(hào)：QuickPRO-CUBE