用過膜厚測試儀的人可能都知道，它可以分為手持式和臺式二種，手持式又有磁感應(yīng)鍍層測厚儀，電渦流鍍層測厚儀，熒光X射線儀鍍層測厚儀。那么他們都采用了什么樣的原理來實(shí)現(xiàn)測量目的的呢？今天就通過三個(gè)典型的型號案例來詳細(xì)展開講一講原理和適用范圍的事情。
 

　　我們先要明確一點(diǎn)，不同膜厚儀測量原理是有區(qū)別的，其適用范圍也會有差異，主要的就是以下3種，岱美儀器小編給大家詳細(xì)介紹下：
 

　　1、渦流法檢測法原理：
 

　　渦流膜厚儀工作原理：利用渦流法檢測法，能夠檢測金屬表面的氧化膜、漆膜或電鍍膜等膜的厚度；但是，金屬材料的性質(zhì)不同，漆膜后檢測也有很大不同。
 

　　2、白光干涉原理：
 

　　在被測量的薄膜上垂直照射可視光，光的一部分在膜的表面反射，另一部分透進(jìn)薄膜，然后在膜與底層之間的界面反射，薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光產(chǎn)生干涉現(xiàn)象。利用白光干涉測量法的原理，它用一個(gè)寬波段的光源來測得不同波長的反射數(shù)據(jù)，由于反射率n和k隨薄膜的不同而變化，根據(jù)這一特性進(jìn)行曲線擬合從而求得膜厚。不同類型材料的相應(yīng)參數(shù)通過不同的模型來描述，從而保證了不同類型材料膜厚測量的準(zhǔn)確性。
 

　　3、磁感應(yīng)原理：
 

　　采用磁感應(yīng)原理時(shí)，利用從測頭經(jīng)過非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小，來測定覆層厚度。也可以測定與之對應(yīng)的磁阻的大小，來表示其覆層厚度。覆層越厚，則磁阻越大，磁通越小。利用磁感應(yīng)原理的測厚儀，原則上可以有導(dǎo)磁基體上的非導(dǎo)磁覆層厚度。一般要求基材導(dǎo)磁率在500以上。如果覆層材料也有磁性，則要求與基材的導(dǎo)磁率之差足夠大(如鋼上鍍鎳)。當(dāng)軟芯上繞著線圈的測頭放在被測樣本上時(shí)，儀器自動(dòng)輸出測試電流或測試信號。
 

　　早期的產(chǎn)品采用指針式表頭，測量感應(yīng)電動(dòng)勢的大小，儀器將該信號放大后來指示覆層厚度。一些電路設(shè)計(jì)引入穩(wěn)頻、鎖相、溫度補(bǔ)償?shù)鹊匦录夹g(shù)，利用磁阻來調(diào)制測量信號。還采用設(shè)計(jì)的集成電路，引入微機(jī)，使測量精度和重現(xiàn)性有了大幅度的提高(幾乎達(dá)一個(gè)數(shù)量級)。現(xiàn)代的磁感應(yīng)測厚儀，分辨率達(dá)到0.1um，允許誤差達(dá)1%，量程達(dá)10mm。
 

　　綜上是比較常見的3種膜厚測量儀的原理分析以及應(yīng)用情況說明，還有一些其他類型的儀器以后會給大家再一一介紹，希望能幫助到廣大用戶。